pompa próżniowa, wktórej wykorzystano dwa zjawiska: sorpcję gazów ipompowanie jonowe. Pompowanie wtakiej pompie polega na jonizacji gazu (najczęściej wykorzystujemy wyładowanie wgazach rozrzedzonych - jonizacja wsilnym polu elektrycznym), następnie jony przyspieszane wpolu elektrycznym bombardują elektrodę ujemną wykonaną zmateriału sorbującego gaz, rozpylając go. Powstaje wten sposób ciągle nowa warstewka metalu sorbującego gaz, która przykrywa (zamurowuje) warstwę nasyconą gazem. Aby zwiększyć prawdopodobieństwa jonizacji, pompę umieszcza się wsilnym polu magnetycznym, co zwiększa drogę elektronów. Pompy tego typu wymagają ciśnień początkowych rzędu 10-3 Tr, natomiast ciśnienie końcowe jest rzędu 10-9 Tr.
pompa jonowo-sorbcyjna
Fizyka