technika produkcji mikroelektronicznych warstwowych układów scalonych; polega na nałożeniu na nieprzewodzące podłoże cienkowarstwowych elementów biernych (oporów, kondensatorów) oraz wykonaniu połączeń i doprowadzeń; układy cienkowarstwowe wytwarzane są najczęściej za pomocą próżniowego naparowywania odpowiednich materiałów na podłożu szklanym lub ceramicznym, rzadziej za pomocą osadzania chemicznego. C.w.t. stosowana jest także w technologii hallotronów i fotorezystorów oraz wytwarzaniu wielowarstwowych struktur stopów ferromagnetycznych na podłożu izolacyjnym, używanych m.in. w nośnikach informacji: taśmach i dyskach magnetycznych.
CIENKICH WARSTW TECHNIKA
Procesy technologiczne